Robôs da série NS projetados para a aplicação da sala limpa NS410 (somente braço) com movimento RTZ com comprimentos opcionais de um eixo linear para uma faixa FOUP adicional. Eles fornecem alto desempenho no manuseio de wafers de 300mm. O software e o hardware estão equipados com funções de detecção de colisão e cumprem os padrões de exoneração de tensão SEMI F47 e os padrões ambientais, de saúde e segurança SEMI S2.
Controlador D
Os controladores D são projetados para desenvolver aplicativos de sala limpa compreendendo um servo processual completo, uma porta de comunicação Ethernet padrão, uma pegada compacta, um desenvolvimento flexível de diferentes softwares, operação independente de dois braços e controles multi-eixo, servo amplificadores uniformes para todos os eixos, padrões ambientais , saúde e segurança SEMI S2, sala branca ISO 1.
Especificação do controlador D60
- Servo completo sistema digital
- Eixos controlados: 7 eixos máximos
- Ensaio manual, semi-automático, totalmente automático.
- Parada de emergência externa, perto da segurança, parada externa.
- Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
- Software: K-Utility (comando original de comunicação Kawasaki para robôs limpos).
- Energia: Voltagem: monofásica, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Padrão: SEMI F47.
- Sinal de entrada: máximo de 16 canais.
- Sinal de saída: máximo de 8 canais
- Série de robôs compatíveis: NS, NT, NX, TT, TX e NV
Especificação do controlador D61
- Servo completo sistema digital
- Eixos controlados: máximo de 12 eixos
- Ensaio manual, semi-automático, totalmente automático.
- Parada de emergência externa, perto da segurança, parada externa.
- Hardware: RS232C x 2 Ethernet.
- Software: K-Utility (comando original de comunicação Kawasaki para robôs limpos).
- Energia: Voltagem: monofásica, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Padrão: SEMI F47.
- Sinal de entrada: 96 canais máximos
- Sinal de saída: máximo de 80 canais
- Série de robôs compatíveis: NS, NT, NX, TT, TX e NV
Especificações principais
Número de eixos: 3
ISO Classe 2
Repetibilidade: ± 0,1 mm (centro da bolacha)
Controlador: D60 / D61
ISO Classe 2
Repetibilidade: ± 0,1 mm (centro da bolacha)
Controlador: D60 / D61
Gama de movimento (°)
Eixo Y (viagem JT1): 2 FOUP: 660 mm / 3 FOUP: 1,070 mm / 4 FOUP: 1,670 mm
eixo θ (rotação JT2): 380 °
Eixo Z (down-down JT3): 380 mm
Eixo X (up-down JT4): 710 mm
Eixo F (rotação JT5): -
eixo θ (rotação JT2): 380 °
Eixo Z (down-down JT3): 380 mm
Eixo X (up-down JT4): 710 mm
Eixo F (rotação JT5): -
Aplicações de robô
Quarto limpo
