Roboter der NT-Serie für die Reinraumanwendung können bis zu vier FOUPs erreichen, der NT520 Doppelarmroboter bietet eine Standardleistung von 280 Wafern pro Stunde (WPH) mit Aligner und 400 WPH ohne Aligner. Die Software und die Hardware sind mit Kollisionserkennungsfunktionen ausgestattet und entsprechen den SEMI F47-Standards zur Spannungssenkung und den SEMI S2-Umwelt-, Gesundheits- und Sicherheitsstandards.
Controller D
D-Controller wurden entwickelt, um Reinraum-Anwendungen zu entwickeln, die einen vollständigen digitalen Servoprozess, einen Standard-Ethernet-Kommunikationsanschluss, eine kompakte Grundfläche, flexible Entwicklung unterschiedlicher Software, unabhängigen Betrieb von zwei Armen und Mehrachssteuerungen, einheitliche Servoverstärker für alle Achsen, Standards Gesundheit und Sicherheit SEMI S2, ISO 1 Reinraum.
Spezifikationen des D60-Controllers
- Servo komplettes digitales System
- Kontrollierte Achsen: Maximal 7 Achsen
- Manuelles, halbautomatisches, vollautomatisches Teachen.
- Externer Notstopp, in der Nähe von Sicherheit, externer Stopp.
- Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
- Software: K-Utility (ursprünglicher Kawasaki-Kommunikationsbefehl für saubere Roboter).
- Energie: Spannung: einphasig, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Eingangssignal: Maximal 16 Kanäle.
- Ausgangssignal: Maximal 8 Kanäle
- Kompatible Roboterserien: NS, NT, NX, TT, TX und NV
Hauptspezifikationen
Anzahl der Achsen: 5
Maximale Reichweite: 1.280 mm
Wiederholbarkeit: ± 0,1 mm (Wafer-Mitte)
Controller: D60 / D61
Maximale Reichweite: 1.280 mm
Wiederholbarkeit: ± 0,1 mm (Wafer-Mitte)
Controller: D60 / D61
Bewegungsbereich (°)
θ1 Achse (Drehung JT2): 340 °
Z-Achse (Aufwärts-Abwärts-JT3): 470 mm
θ2-Achse (Drehung JT4): 340 °
H1-Achse (Rotation JT6): 340 ° (380 °) como opción
H2-Achse (Drehung JT7): 380 °
Z-Achse (Aufwärts-Abwärts-JT3): 470 mm
θ2-Achse (Drehung JT4): 340 °
H1-Achse (Rotation JT6): 340 ° (380 °) como opción
H2-Achse (Drehung JT7): 380 °
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