Der NX520 mit 2 Gliedern, starre Doppelarmstruktur, die die Wafer-Stufen mit einem Hochleistungsraum von 200 Wafern pro Stunde (WPH) von FOUP zum Aligner und dann zur Stufe mit einem Doppelarmmanipulator leicht erreichen kann, entspricht den Standards von ISO Klasse 1, Standard SEMI-F47 System der unmittelbaren Lösung für den Spannungsabfall und Neustart des automatischen Systems, wenn die Spannung wiederhergestellt ist, Standard SEMI-S2 Umweltschutz, persönliche Sicherheit, Antikollisionssystem.
Controller D
D-Controller wurden entwickelt, um Reinraumanwendungen zu entwickeln, die einen kompletten digitalen Servoprozess, einen Standard-Ethernet-Kommunikationsanschluss, eine kompakte Grundfläche, flexible Entwicklung verschiedener Software, unabhängigen Betrieb von zwei Armen und Mehrachssteuerungen, einheitliche Servoverstärker für alle Achsen und Standards umfassen , Gesundheit und Sicherheit SEMI S2, weißer Raum ISO 1.
Spezifikation des D60-Controllers
- Servo komplettes digitales System
- Kontrollierte Achsen: Maximal 7 Achsen
- Manuelles, halbautomatisches, vollautomatisches Teachen.
- Externer Notstopp, in der Nähe von Sicherheit, externer Stopp.
- Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
- Software: K-Utility (ursprünglicher Kawasaki-Kommunikationsbefehl für saubere Roboter).
- Energie: Spannung: einphasig, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Eingangssignal: Maximal 16 Kanäle.
- Ausgangssignal: Maximal 8 Kanäle
- Kompatible Roboterserien: NS, NT, NX, TT, TX und NV
Spezifikation des D61-Controllers
- Servo komplettes digitales System
- Kontrollierte Achsen: Maximal 12 Achsen
- Manuelles, halbautomatisches, vollautomatisches Teachen.
- Externer Notstopp, in der Nähe von Sicherheit, externer Stopp.
- Hardware: RS232C x 2 Ethernet.
- Software: K-Utility (ursprünglicher Kawasaki-Kommunikationsbefehl für saubere Roboter).
- Energie: Spannung: einphasig, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Eingangssignal: Maximal 96 Kanäle
- Ausgangssignal: Maximal 80 Kanäle
- Kompatible Roboterserien: NS, NT, NX, TT, TX und NV
Hauptspezifikationen
Anzahl der Achsen: 5
ISO-Klasse 1
Link: 2
Wiederholbarkeit: ± 0,1 mm (Wafer-Mitte)
Controller: D60 / D61
ISO-Klasse 1
Link: 2
Wiederholbarkeit: ± 0,1 mm (Wafer-Mitte)
Controller: D60 / D61
Bewegungsbereich (°)
| θ Achse (Drehung JT2) |
330 ° |
| 440 mm | |
| Z-Achse (hoch-runter JT3) |
832 mm |
| 336 ° | |
| X-Achse (ein / aus JT4) |
|
| W-Achse - niedriger (Drehung JT6) |
336 ° |
| W-Achse - oben (Drehung JT7) |
Roboteranwendungen
Sauberes Zimmer
