Kawasaki Reinraum NT410

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Information
Spezifizierungen

Roboter der NT-Serie, die für die einarmige Reinraumanwendung NT410 entwickelt wurden, können bis zu vier FOUPs erreichen, die eine Standardleistung von 280 Wafern pro Stunde (WPH) mit Ausrichter und 400 WPH ohne Ausrichter bereitstellen. Die Software und die Hardware sind mit Kollisionserkennungsfunktionen ausgestattet und erfüllen die Sicherheitsnorm SEMI F47 und die SEMI S2 Standards für Umwelt, Gesundheit und Sicherheit.

Controller D

D-Controller wurden entwickelt, um Reinraum-Anwendungen zu entwickeln, die einen vollständigen digitalen Servoprozess, einen Standard-Ethernet-Kommunikationsanschluss, eine kompakte Grundfläche, flexible Entwicklung unterschiedlicher Software, unabhängigen Betrieb von zwei Armen und Mehrachssteuerungen, einheitliche Servoverstärker für alle Achsen, Standards Gesundheit und Sicherheit SEMI S2, ISO 1 Reinraum.

Spezifikationen des D60-Controllers

Servo komplettes digitales System
Kontrollierte Achsen: Maximal 7 Achsen
Manuelles, halbautomatisches, vollautomatisches Teachen.
Externer Notstopp, in der Nähe von Sicherheit, externer Stopp.
Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
Software: K-Utility (ursprünglicher Kawasaki-Kommunikationsbefehl für saubere Roboter).
Energie: Spannung: einphasig, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
Eingangssignal: Maximal 16 Kanäle.
Ausgangssignal: Maximal 8 Kanäle
Kompatible Roboterserien: NS, NT, NX, TT, TX und NV

Spezifikation des D61-Controllers

Servo komplettes digitales System
Kontrollierte Achsen: Maximal 12 Achsen
Manuelles, halbautomatisches, vollautomatisches Teachen.
Externer Notstopp, in der Nähe von Sicherheit, externer Stopp.
Hardware: RS232C x 2 Ethernet.
Software: K-Utility (ursprünglicher Kawasaki-Kommunikationsbefehl für saubere Roboter).
Energie: Spannung: einphasig, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
Eingangssignal: Maximal 96 Kanäle
Ausgangssignal: Maximal 80 Kanäle
Kompatible Roboterserien: NS, NT, NX, TT, TX und NV

Hauptspezifikationen

Anzahl der Achsen: 4
Maximale Reichweite: 1.230 mm
Wiederholbarkeit: ± 0,1 mm (Wafer-Mitte)
Controller: D60 / D61

Bewegungsbereich (°)

θ1 Achse (Drehung JT2): 340 °
Z-Achse (Auf-Ab-JT3): 400 mm
θ2-Achse (Drehung JT4): 340 °
H1-Achse (Rotation JT6): 340 ° (380 °) como opción
H2-Achse (Drehung JT7): -

Roboteranwendungen

Sauberes Zimmer

Anwendungen

Handhabung von Teilen , Montage von Teilen

Fotos

Diagramme