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Kawasaki Reinraum NX510
Der NX510 ist ein Roboter, der über eine starre Armstruktur verfügt, die auf engstem Raum die Stufen der Wafer sowie die FOUP in beliebigen Positionen leicht erreichen kann. kann mit 2 oder 3 FOUP ohne eine Spur verwenden, erfüllt die Standards der ISO Klasse 1, Standard SEMI-F47 System der sofortigen Lösung für den Spannungsabfall und Neustart des automatischen Systems, wenn die Spannung wiederhergestellt wird, Standard SEMI-S2 Schutz der Umwelt und persönliche Sicherheit, Antikollisionssystem, hohe Linearität, Positionierung und große Präzision.
Controller D
D-Controller wurden entwickelt, um Reinraumanwendungen zu entwickeln, die einen kompletten digitalen Servoprozess, einen Standard-Ethernet-Kommunikationsanschluss, eine kompakte Grundfläche, flexible Entwicklung verschiedener Software, unabhängigen Betrieb von zwei Armen und Mehrachssteuerungen, einheitliche Servoverstärker für alle Achsen und Standards umfassen , Gesundheit und Sicherheit SEMI S2, weißer Raum ISO 1.
Spezifikation des D60-Controllers
- Servo komplettes digitales System
- Kontrollierte Achsen: Maximal 7 Achsen
- Manuelles, halbautomatisches, vollautomatisches Teachen.
- Externer Notstopp, in der Nähe von Sicherheit, externer Stopp.
- Hardware: RS232C x 1 Ethernet.
- Software: K-Utility (ursprünglicher Kawasaki-Kommunikationsbefehl für saubere Roboter).
- Energie: Spannung: einphasig, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Eingangssignal: Maximal 16 Kanäle.
- Ausgangssignal: Maximal 8 Kanäle
- Kompatible Roboterserien: NS, NT, NX, TT, TX und NV
Spezifikation des D61-Controllers
- Servo komplettes digitales System
- Kontrollierte Achsen: Maximal 12 Achsen
- Manuelles, halbautomatisches, vollautomatisches Teachen.
- Externer Notstopp, in der Nähe von Sicherheit, externer Stopp.
- Hardware: RS232C x 2 Ethernet.
- Software: K-Utility (ursprünglicher Kawasaki-Kommunikationsbefehl für saubere Roboter).
- Energie: Spannung: einphasig, AC208 V ± 10%, 50/60 Hz. Standard: SEMI F47.
- Eingangssignal: Maximal 96 Kanäle
- Ausgangssignal: Maximal 80 Kanäle
- Kompatible Roboterserien: NS, NT, NX, TT, TX und NV
Hauptspezifikationen
Anzahl der Achsen: 4
ISO-Klasse 1
Link: 2
Wiederholbarkeit: ± 0,1 mm (Wafer-Mitte)
Controller: D60 / D61
ISO-Klasse 1
Link: 2
Wiederholbarkeit: ± 0,1 mm (Wafer-Mitte)
Controller: D60 / D61
Bewegungsbereich (°)
| θ Achse (Drehung JT2) |
330 ° |
| 440 mm | |
| Z-Achse (hoch-runter JT3) |
832 mm |
| 336 ° | |
| X-Achse (ein / aus JT4) |
|
| W-Achse - niedriger (Drehung JT6) |
- |
| W-Achse - oben (Drehung JT7) |
|
Roboteranwendungen
Sauberes Zimmer
